BARA荏原機械 ESA700W 真空渦輪分子泵

一、產品概述

EBARA荏原機械的ESA700W真空渦輪分子泵專為高真空應用設計，采用渦輪分子泵原理，通過高速旋轉葉片將氣體分子從入口推向出口，實現快速抽氣。其三級渦輪結構優化了氣體動力學性能，確保在寬壓力范圍內的高效抽氣能力，適用于半導體制造、科研實驗等對潔凈真空環境要求嚴苛的領域。該泵通常與羅茨泵或干式機械泵組成前級系統，形成完整的抽氣單元，滿足從粗真空到高真空的連續過渡需求。

二、詳細技術參數

1. 抽氣性能

• 抽氣速度：在分子流區（高真空范圍）表現，具體數值需根據實際工況調整，適用于快速清除氣體分子負載，提升工藝效率。

• 抽氣曲線：提供寬壓力范圍內的穩定性能，優化氣體排除效率，確保從粗真空到高真空的平滑過渡。

2. 物理特性

• 尺寸與重量：緊湊型設計便于集成，重量適中以減少安裝負擔，具體尺寸請參考技術手冊。

• 材質：采用高強度合金和耐腐蝕涂層，增強耐用性，適應半導體制造等腐蝕性環境。

3. 運行參數

• 轉速范圍：高速旋轉（通常數千至數萬轉/分鐘），通過動平衡技術實現低振動運行，噪音控制在50分貝以下，適用于對振動敏感的精密儀器。

• 溫度范圍：工作溫度適應性強，內置溫度監控系統防止過熱，確保長期穩定運行。

4. 電氣與能耗

• 電源要求：標準電壓配置，支持高效電機設計，顯著降低能耗，符合節能環保標準。

• 功率消耗：相比傳統泵類，電力需求更低，減少長期運營成本。

5. 接口與連接

• 進氣口/出氣口：標準化法蘭接口，便于與真空系統無縫集成，支持快速安裝和維護。

• 控制接口：配備電子通信端口，支持實時數據監控和遠程參數調整，增強智能控制能力。

6. 環境與安全

• 防護等級：符合工業安全規范，具備防塵和防潮特性，保障在惡劣條件下的可靠性。

• 無油設計：避免潤滑油污染，特別適合潔凈室和敏感工藝環境，如光學鍍膜和有機合成。

7. 維護與壽命

• 維護周期：低維護需求設計，通過預防性監控減少停機時間，延長設備壽命。

• 預期壽命：在正常使用條件下，超過10年的耐用性，降低總擁有成本。

三、核心技術優勢

• 高效抽氣能力：渦輪葉片經流體動力學優化，減少氣體回流，確保高氣體負荷場景下的穩定性能。

• 節能環保：無油設計避免污染，同時高效電機降低電力消耗，支持綠色制造理念。

• 智能控制：集成電子系統，實時監測運行狀態（如轉速、溫度、振動），支持遠程調整，實現預防性維護。

四、應用場景

• 半導體制造：用于刻蝕、離子注入等工藝，提供潔凈高真空環境，提升生產效率和良品率。

• 科研與實驗室：在電子顯微鏡、粒子加速器中維持穩定真空條件，保障實驗準確性。

• 鍍膜與涂層技術：減少氣體分子對鍍膜層的污染，提高涂層均勻性和附著力。

• 新能源與化工：在鋰電池制造、有機合成中排除反應氣體，確保工藝安全性和產品純度。